各有關(guān)單位：

　　根據(jù)《中國計量測試學(xué)會科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎管理辦法》有關(guān)規(guī)定，2025年度中國計量測試學(xué)會科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎經(jīng)初審、復(fù)審和評審委員會終審，并在中國計量測試學(xué)會官網(wǎng)公示無異議，現(xiàn)決定授予“半導(dǎo)體晶圓深亞波長缺陷多模態(tài)一體化檢測技術(shù)及裝備”等24個項目2025年度中國計量測試學(xué)會科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎（獲獎項目和等級見附件）。

　　望各獲獎單位和人員以習(xí)近平新時代中國特色社會主義思想為指導(dǎo)，深入貫徹黨的二十大和二十屆歷次全會精神，弘揚(yáng)科學(xué)家精神，聚焦高水平科技自立自強(qiáng)，深化計量測試技術(shù)攻關(guān)與成果轉(zhuǎn)化，加快構(gòu)建國家現(xiàn)代先進(jìn)測量體系，以計量創(chuàng)新助力新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展，為服務(wù)高質(zhì)量發(fā)展作出新貢獻(xiàn)。

　　特此決定。

　　附件：獲獎項目名單

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　中國計量測試學(xué)會

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　2026年4月7日　　　　　　　　　

關(guān)于授予“2025年度中國計量測試學(xué)會科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎”獎勵的決定.PDF